了解層流罩的人都知道,幾乎所有的層流罩在出風(fēng)面都裝有均流膜,那么層流罩為什么要裝有均流膜呢?層流罩的均流膜的作用是什么?
層流罩的工作原理是:空氣通過頂部的進風(fēng)口從潔凈室吸入,經(jīng)頂部的HEPA高效過濾器過濾,然后垂直通過操作區(qū),形成均勻的流動層,使?jié)崈艨諝獬蚀怪眴蜗?,從而保證了工作區(qū)工藝要求的高潔凈度。廢氣從下方排出,返回潔凈室區(qū)域,經(jīng)排風(fēng)口排至室外或回風(fēng)系統(tǒng)。
層流罩是提供垂直單向氣流,使工作區(qū)域達到A級或局部層流要求。為使層流罩下的氣流均勻,避免紊流,過濾器下方設(shè)置了高效均流膜。均流膜是一層透光率高、表面精細、透氣性好、阻力小的高分子薄膜。它可以使氣流均勻,同時減少阻力和能量消耗。是一種很好的均勻材料。
簡單來說,層流罩的均流膜可以使層流罩出風(fēng)面的氣流更加均勻,避免紊流和清潔死角,保持工作區(qū)潔凈度的均勻性。等流膜使層流罩下的氣流更穩(wěn)定,凈化更徹底。均流膜使工藝段的潔凈度更加均勻穩(wěn)定,是層流罩上的重要附件。
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